19亿元,这是如今全球最贵电子设备的价格,它就是全球最大的光刻机供应商asml先手的na
0.55高数值孔径euv光刻机的价格,而购买者则是大名鼎鼎的英特尔。
在当前na 0.33的euv光刻机中,英特尔动作慢了,被台积电、三星抢先,因此,在下一代na 0.55的euv光刻工艺中,英特尔不允许同样的错误再次发生,这一次要抢先三星台积电下单,也会抢先量产20a及18a工艺,首次进入埃米级工艺节点。
基于此,4年来英特尔实际上已经下单了6台na 0.55的euv光刻机,其中分为两种,twinscan exe:5000系列主要用于工艺研发,产能输出是185wph,每小时生产185片晶圆,2023年上半年交付。量产型的na 0.55光刻机是twinscan exe:5200,产能提升到200wph,每小时200片晶圆,预计会在2024年下线。
编辑:齐少恒
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